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一、結(jié)構(gòu)特征

二、概述

2.1基本功能和依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)：

ST2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測-改進(jìn)形范德堡測量方法測試材料電阻率/方塊電阻的智能化綜合測量儀器。該儀器設(shè)計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》等并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對測量結(jié)果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高正確度，特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。

2.2 儀器成套組成：由ST2253四探針主機(jī)、選配的四探針探頭、四探針測試臺以及ST2253型四探針測試軟件等部分組成。

2.3優(yōu)勢特征：

1：雙電測模式，四探針測試模式中正確較高等級。

2：帶電腦軟件，可以保存、查詢、統(tǒng)計分析數(shù)據(jù)和打印報告。

3：USB通訊接口，通用性好、方便快捷。優(yōu)于RS232或485方式，這些端口一般電腦都難配了！

4：8檔位超寬量程，行業(yè)前沿。同行一般為五到六檔位。

5: 可脫電腦單機(jī)操作,小型化、手動/自動一體化。

6: 操作簡便、性能穩(wěn)定，所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)碼開關(guān)輸入，簡便而且免除模擬定位器的不穩(wěn)定。

2.4探頭選配：根據(jù)不同材料特性需要，探頭可有多款選配。詳情見《四探針探頭型號規(guī)格特征選型參照表》

1配高耐磨的碳化鎢探針探頭，以測試硅等半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻；

2配不傷膜的球形或平頭鍍金銅合金探針探頭，可測金屬箔、碳紙等導(dǎo)電薄膜，也可測陶瓷、玻璃或PE膜等基底上導(dǎo)電涂層膜，如金屬鍍膜、噴涂膜、ITO膜、電容卷積膜等材料的薄膜涂層電阻率/方阻。

3配專用箔上涂層探頭，也可測試鋰電池電池極片等箔上涂層電阻率/方阻。

4換上四端子測試夾具，還可對電阻器的體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測量。

2.5測試臺選配：根據(jù)不同材料特性需要，測試臺可有多款選配。詳情見《四探針測試臺型號規(guī)格特征選型參照表》

四探針法測試固體或薄膜材料選配SZT-A型或SZT-B型（電動）或SZT-C型（快速恒壓）或SZT-F型（太陽能電池片）測試臺。

二探針法測試細(xì)長棒類材料選配SZT-K型測試臺.

平行四刀法測試橡塑材料選配SZT-G型測試臺。

2.6適用范圍：儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、高等院校四探針法對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試。特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。

三、基本技術(shù)參數(shù)

3.1  測量范圍

電 阻：1×10-4～2×105 Ω   ，分辨率：1×10-5～1×102 Ω

電阻率：1×10-4～2×105 Ω-cm，分辨率：1×10-5～1×102 Ω-cm

方 阻：5×10-4～1×106 Ω/□，分辨率：5×10-5～1×102 Ω/□

3.2  材料尺寸(由選配測試臺和測試方式?jīng)Q定)

直 徑：SZT-B/C/F測試臺直接測試方式180mm×180mm，手持方式不限.

長(高)度：測試臺直接測試方式 H≤100mm, 手持方式不限.

測量方位: 軸向、徑向均可

3.3 量程劃分及誤差等級

3.4 四探針探頭（選配其一或加配全部）

(1)碳化鎢探針：Φ0.5mm，直線探針間距1.0mm，探針壓力: 0～2kg 可調(diào)

(2)薄膜方阻探針：Φ0.7mm，直線或方形探針間距2.0mm，探針壓力: 0～0.6kg 可調(diào)

3.5. 電源

輸入: AC 220V±10% ,50Hz  功 耗：<20W

3.6.外形尺寸、重量：

主 機(jī)： 220mm（長）×245 mm（寬）×100mm（高），     凈   重：≤2.5kg